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    • 單片蝕刻設(shè)備

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    產(chǎn)品詳情 / Product Details

    設(shè)備尺寸:2600*3100*2650mm

    Equipment size:2600*3100*2650mm

    兼容規(guī)格:6寸/8寸

    Compatible specification: 6 in/8 in

    可配至4個(gè)單片工藝腔體

    Up to 4 monolithic process chambers

    可回收2種藥液

    2 kinds of liquid medicine can be recovered

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